日立S-2500型掃描電子顯微鏡分辨率達3.5nm，放大率為20～200000倍，加速電壓0.5～30Kv分53階連續可調，樣品尺寸最大可到200mm。2000年從英國牛津儀器公司購進的INCA Energy X射線能譜儀分辨率達133 eV，測量元素范圍4Be-92U，最大計數率為5000cps。

掃描電子顯微鏡可用于各種材料表面微觀形貌的觀察與分析，包括材料的物相組成，氣孔的含量及分布，晶體的生長發育、晶粒大小、晶界排列等情況，是一種十分有效的結構分析工具。配套設備包括真空離子濺射儀，噴碳附件，冷卻循環水制冷機組等。能譜儀與掃描電鏡聯機使用，具有微區成分的定性分析，定量分析，元素的線掃描分析，面掃描分析及粉體材料的粒度統計分布等多項功能，對于進一步確定材料的性能及組成起到了至關重要的作用。